原创 AGOA 亚洲氧化镓联盟 2023-08-10 14:00 发表于天津

      2023年，亚洲氧化镓联盟（以下简称“AGOA”）拓展了新的频道——专家访谈。由联盟内部的理事单位、会员单位和专家委员会供稿，阐述各自对氧化镓领域的不同见解。带领我们认识氧化镓、了解氧化镓、深入氧化镓。

      本次我们有幸采访联盟理事单位——杭州富加镓业创始人、上海光机所研究员齐红基老师，来分享他对氧化镓这一材料的独到见解。

嘉宾介绍

       齐红基，上海光机所研究员，博士生导师，光电材料领域专家。现任中国光学学会光学材料专委会秘书长，浙江省先进光电工程材料研究中心副主任，主持国家重大专项、科技部重点研发计划、国防科工局配套项目等项目，在国际期刊发表论文130余篇，授权专利70余项（含国际发明专利6项）。

公司介绍

      杭州富加镓业科技有限公司成立于2019年12月，注册资金851.763万，坐落于美丽的杭州市富阳区，是由上海光机所与富阳区政府共建的“硬科技”产业化平台——杭州光机所孵化的科技型企业。

  公司专注于宽禁带半导体单晶及外延材料研发，研发人员中硕士以上比例达到80%。公司拥有多台大尺寸导模法晶体生长炉、MOCVD和MBE外延设备、高精密抛光机等仪器设备，为公司的发展提供了基础支撑和持续创新动力。

 

       公司研制的氧化镓单晶材料，是继Si、SiC及GaN后的新型宽禁带半导体材料，其技术来源于上海光机所技术研发团队，该团队是我国最早从事氧化镓晶体生长团队之一，从事氧化镓单晶材料设计、模拟仿真、生长及性能表征等工作，形成了较鲜明的特色和优势。

AGOA：镓及氧化镓目前的国际情势，您觉得目前氧化镓的研究难点和未来重点研发方向分别是什么？

 

       鉴于氧化镓未来在国民经济、国防军工建设中潜在的支撑和保障作用，关于镓、氧化镓材料及相关产业发展均为国际大国竞争的热点领域。如同其他半导体材料一样，氧化镓研究的难点仍然为单晶及外延材料的缺陷，缺陷存在尺寸小、随机分布特点，对缺陷的准确全面表征较为困难。另外，缺陷成因及其复杂，涉及到材料生长动力学、热力学、化学分解合成等基础问题，缺陷形成机理深入阐述较为困难。由于缺陷种类繁多，形成机理差别较大，全面抑制缺陷也存在较大挑战。更重要的是，材料缺陷与器件制备工艺及具体应用场景相互耦合，进一步增加了研究难度。未来重点研究方向是不断提高材料性能及降低材料制备成本。

AGOA：校企联合会推动氧化镓的发展吗？

       相对于单晶硅、甚至GaN及SiC材料而言，当前整个氧化镓产业的发展还处于初期阶段，在氧化镓相关产业发展过程中仍存在较多基础问题需要深入研究。

       校企联合无疑可以推动氧化镓产业快速发展。和其他材料一样，氧化镓材料及器件的研究原创技术来源于高校及研究机构，科研机构及高校对于相关内容有独到的理解及深入分析，科研实力强，因此，产业发展离不开高校及科研机构研发支持。其次，初创企业能够借助科研院校昂贵的研发设备对产品进行不断的反馈升级优化，在减轻经济层面的负担同时，加快研发进度；再次，由于整个氧化镓行业处于初期阶段，非常缺少相应的人才储备，如果能将企业的运营机制和岗位需求与高等院校的人才培养体系和人才培养目标相结合，通过协调、互动和分享等长期合作模式达到高校人才培养成果与用人单位的人才需求无缝对接的目的。

AGOA：作为杭州富加镓业的领导者，您和团队未来会做氧化镓哪个方向的突破呢？

       突破集中在高品质氧化镓单晶及同质外延，具体包括单晶及外延相关工程化技术，以及针对器件实际应用需求，进一步提升单晶及外延薄膜质量。 

 

       另外，针对未来规模化应用，需要充分挖掘现阶段氧化镓材料液相法制备效率高的优势，发展新的高效制备技术，降低成本，提高氧化镓材料的渗透率。

AGOA：您公司的研发团队目前的研究重点是什么？公司现阶段的产品处于什么阶段？

       团队目前研发重点包括两方面，一是氧化镓相关工程化技术研究，提高材料制备可控性，即将现阶段科研成果转化为市场可以接受的产品；其次是产品性能提升，希望最大程度挖掘氧化镓材料价值。

 

       公司目前提供的产品是氧化镓单晶衬底以及外延片，现阶段可批量提供10mm×10mm至2寸的氧化镓单晶衬底，可定制化提供4寸氧化镓晶圆衬底。即将推出的外延产品包括MOCVD方法制备的~10um厚度氧化镓同质外延薄膜，和MBE方法制备的多层高质量氧化镓同质外延薄膜，可用于制备纵向功率器件、横向功率器件、射频器件及日盲紫外探测器件等。

AGOA：您对氧化镓未来的产业化方向的期待？

       基于氧化镓材料自身性能优势及未来潜在应用领域，目前氧化镓已经成为国际材料领域竞争的热点。各国研究人员在单晶生长、外延及器件领域的不断突破，为未来产业化奠定了坚实技术基础。

       日前三菱电机已经入股国际氧化镓领域领军企业——Novel Crystal Technolog（NCT），进一步说明氧化镓领域已经引起产业端的高度重视，氧化镓基器件的实际应用已经来临。根据预测，Ga2O3功率器件市场和光电探测市场的需求不断增长，相信在不远的未来，半导体行业将迎来一个新的发展机遇。

 

AGOA：您对联盟的工作有什么意见或建议吗？

 

        氧化镓联盟聚集了国内外氧化镓领域专家、学者及行业领军企业，在推动国际氧化镓领域合作交流及氧化镓产业应用方面发挥了巨大作用。作为联盟理事单位，杭州富加镓业将一如既往支持联盟开展各类活动。希望联盟平台发挥好自身优势，保持理事、成员单位以及成员个人之间的良好沟通和联系。同时更好地促进国内氧化镓行业与国际氧化镓行业之间的合作，共同推进氧化镓领域发展。祝联盟越办越好！